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YTC1100光伏级单晶炉

主要性能指标


炉室资料Puller Data
坩埚直径Crucible diameter:22"- 28"
单晶直径Crystal diameter:8"- 12"
装料量Charge size:350 kg
喉管直径Throat Diameter:14 "(356mm)
直径偏差率:Diameter deviation rate:1.5 mm
主炉膛内径Main furnace Diameter:Φ1100 mm
主炉膛高度Main furnace Height:1450 mm(上1050 mm,下400 mm)
漏率:≤10 mtorr/hour
冷炉极限真空度:≤23 mtorr
全自动长晶过程:
最大拉晶长度:≤3600 mm
排气方式Exhaust:底排气Exhaust end
AR进气介面:1.喉部两侧  2.副炉室上方
Ar流量控制:MFC 4-200 slpm


坩埚驱动单位Crucible drive unit
提升速度Lifting speed:0-10 in/hr (0-254 mm/hr)
最快提升速度Crucible Jog Speed:2.0 in/min (50.8 mm/min)
行程Stroke:19"(480 mm)
转速Rotation speed:0-20 rpm


晶驱动单位 Crystal drive unit
提升速度Lifting speed:0-20 in/hr (0-508 mm/hr)
快速提升速度Seed Jod Speed:20 in/min (508 mm/min)
转速Rotation speed:0-50 rpm


厂务要求Utilities
电源电压(Source Voltage):380 V±10%
频率(Frequency):50/60 Hz
加热功率(Heating Power):160 KW底部加热50 KW
环境温度(Ambient Temperature):5~40
相对湿度(Relative Humidity):<70%
入口端最高水温(Maximum Inlet Temperature):77°F (25℃)      
最小流量(Minimum Flow Rate):78 gpm (295 l/min) total
入口出口压力差(Diff. Supply Pressure):30 psi (2.1 kg/cm²)  
主氩气流量(Mass Flow Control(Max.):200 slpm
吹扫流量(Purge Flow):100 slpm
合计(Facility Total):300 slpm
推荐压力Recommended Supply Pressure:75 psi (5.3 kg/ cm²)
压缩空气(Air)
推荐压力Recommended Supply Pressure:90psi (6.3 kg/ cm²)


控制系统System Control
自动过程Automatic process
标准PLC/PC控制control by PLC/PC. Equipped as standard


外形尺寸Dimensions(approx.)
总高度 (closed):8632mm
宽 Width (W):1580mm
深 Depth (D):2060mm